基于微机电系统的线圈芯片、检测芯片和滑油传感器
授权
摘要
本申请实施例提供了一种基于微机电系统的线圈芯片、检测芯片和滑油传感器。该基于微机电系统的线圈芯片，包括具有相对设置的第一表面和第二表面的基底，基底上设有至少两个的感应区域；基底于每个感应区域内的第一表面和第二表面上分别对应设有第一绝缘层和第二绝缘层，第一绝缘层于远离第二绝缘层的表面上设有至少一层的感应线圈层，感应线圈层的内圈位置设有贯穿整个线圈芯片的供滑油通过的检测通孔，使得每个感应区域内形成一感应线圈结构单元。本申请实施例提供了一种基于微机电系统的线圈芯片、检测芯片和滑油传感器，能够提高滑油传感器的检测灵敏度。
基本信息
专利标题 ：
基于微机电系统的线圈芯片、检测芯片和滑油传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021646069.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-10
授权号 ：
CN212674712U
授权日 ：
2021-03-09
发明人 ：
聂泳忠吴桂珊
申请人 ：
西人马联合测控（泉州）科技有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市洛江区双阳街道新南社区
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
彭琼
优先权 ：
CN202021646069.9
主分类号 ：
G01N15/02
IPC分类号 ：
G01N15/02 G01N15/10 G01N33/28 H01F41/04 H01F5/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N15/00
测试颗粒的特性；测试多孔材料的渗透性，孔隙体积或者孔隙表面积
G01N15/02
测试颗粒的粒度或粒经分布
法律状态
2021-03-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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