一种冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板
授权
摘要
本实用新型涉及粘接板冷却技术领域，尤其是一种冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板。其包括分水器，所述分水器可拆卸的连接在中空粘接板的一侧，分水器内设有储水腔，所述储水腔和中空粘接板中空内腔连通；所述分水器外表面连接进水接头，进水接头一端与储水腔连通。本实用新型能够在晶棒切割时对中空粘接板进行冷却，减少切割过程中产生的热量，提高了切割质量；中空粘接板和分水器采用套接或压紧连接的形式，方便了分水器的拆装；分水器和中空粘接板连接处设置密封圈进行密封，提高了冷却水的利用率，避免冷却水在分水器和中空粘接板连接处产生渗漏。
基本信息
专利标题 ：
一种冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021652224.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-10
授权号 ：
CN212399979U
授权日 ：
2021-01-26
发明人 ：
杨旭洲贾瑞波李斌张利敏张昌银孙钊
申请人 ：
无锡中环应用材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市宜兴经济开发区东氿大道
代理机构 ：
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
聂启新
优先权 ：
CN202021652224.8
主分类号 ：
B28D5/00
IPC分类号 ：
B28D5/00 B28D5/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备
法律状态
2021-01-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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