一种石英基座
授权
摘要
本实用新型公开一种石英基座，包括定位底板，所述定位底板顶部四角固接有支撑柱，所述支撑柱的外侧套固有支撑板，所述支撑柱的顶部可拆卸连接有放置台。该石英基座，通过将放置台设计为可拆卸连接的方式，在因磨损或因其他原因需要更换时，只需更换放置台即可，避免传统技术中整个石英基座由于一体化设计而需要全部更换，节约了成本；同时通过在支撑柱上设计卡台便于对支撑板安装时的定位和固定，便利了安装。
基本信息
专利标题 ：
一种石英基座
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021680162.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-13
授权号 ：
CN212625520U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
胡新
申请人 ：
辽宁盛新航半导体材料有限公司
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市苏家屯区林盛街道文城堡村
代理机构 ：
沈阳天赢专利代理有限公司
代理人 ：
陈贞
优先权 ：
CN202021680162.1
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L21/68
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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