一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器
授权
摘要
本实用新型提供一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器，其包括下层板，所述下层板上竖直设置有矩形柱，所述矩形柱沿所述下层板边框均匀分布，形成环形壁，所述下层板上且位于环形壁内侧竖向设置有多个调谐柱，所述环形壁上方设置有上层板；本实用新型的滤波器结构为双层结构，采用间隙波导技术，两层结构之间不需要严格的电接触，降低了对于加工组装的精度要求；其中传输介质为空气，具有传输损耗低的优点；可以通过调节调谐柱之间的距离和调谐柱的结构来调整级联谐振腔之间的耦合系数。
基本信息
专利标题 ：
一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021690670.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-14
授权号 ：
CN213026428U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
王昊王岩徐达龙权双龙徐文文
申请人 ：
南京理工雷鹰电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市秦淮区光华路129-3南京理工科技园A2幢808室
代理机构 ：
南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
刘小莉
优先权 ：
CN202021690670.8
主分类号 ：
H01P1/208
IPC分类号 ：
H01P1/208
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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