一种基于MEMS工艺的间隙波导功分器

授权

摘要

本实用新型提供一种基于MEMS工艺的间隙波导功分器，其包括下层板，所述下层板上竖直设置有矩形柱，以及T形路径，所述矩形柱沿所述T形路径外侧边均匀分布形成阻隔壁，所述下层板上设置有调谐柱，所述矩形柱上方设置有上层板；本实用新型采用MEMS半导体加工工艺代替传统的纯金属结构，在拥有更高的加工精度的同时，减少了金属用量，降低了功分器的重量，实现了结构的轻量化。另一方面基于MEMS工艺的功分器所使用的的介质基底与集成电路相同，易于与其它器件集成在一起。

基本信息

专利标题：

一种基于MEMS工艺的间隙波导功分器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021690934.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-14

授权号：

CN213026440U

授权日：

2021-04-20

发明人：

王昊王岩徐达龙权双龙徐文文

申请人：

南京理工雷鹰电子科技有限公司

申请人地址：

江苏省南京市秦淮区光华路129-3南京理工科技园A2幢808室

代理机构：

南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

刘小莉

优先权：

CN202021690934.X

主分类号：

H01P5/12

IPC分类号：

H01P5/12