一种盘片抛光及检测装置，包括机台、设置在机台上的抛光组件、分别设置在抛光组件相对两侧的移位组件及检测组件。机台的台面上设置有一滑槽，滑槽内设置有一滑座，滑座上开设有一加工槽。抛光组件包括升降台、设置在升降台上的升降轴、以及安装在升降轴顶部的悬臂；悬臂的末端设置有一伺服电机，该伺服电机的输出轴下端安装有一砂轮。移位组件包括一固定设置在机台上的气缸，气缸的伸缩杆与滑座连接。检测组件包括设置在机台的台面上的检测架、设置在检测架上的检测头、以及设置在机台的台面下的光敏检测仪。本装置通过光敏阵列来检测抛光后的盘片的受光量，并传送到光敏检测仪分析，从而确定盘片的研磨抛光量达不达标。