本实用新型公开了一种槽式高效烘干系统，涉及硅片烘干设备领域，其中烘干槽采用PVDF材质，烘干槽设有主槽和副槽，副槽底部设有匀流管，匀流管内壁均匀分布小孔，加热装置将加热后的空气通过小孔均匀的送入槽内，槽盖两侧均匀分布孔洞，使得潮湿空气能够正常排出，加热装置置于烘干槽外部，上述设计改善了传统烘干槽槽壁因长期靠近高温灯管产生变形，喷氟物脱落导致的金属污染等问题，本实用新型烘干系统效率更高，能耗低，便于安装维护，烘干效果更好，能进一步缩短烘干时间提升产能。