一种PBN坩埚烘干装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型揭示了一种PBN坩埚烘干装置,包括内管、中间管、外管三层结构,所述中间管设置在内管和外管之间,所述中间管环绕设置加热线圈,所述内管为中空的圆筒结构,所述内管的两端分别设有第一法兰和第二法兰,所述第一法兰上设有进气气动阀,所述第二法兰上设有出气气动阀。为解决了现有技术处理PBN坩埚存在能耗大和坩埚寿命短的技术问题,现提出一种新的技术路线处理PBN坩埚:首先将PBN坩埚浸润高纯硼酸溶液,然后对充分浸润高纯硼酸溶液的PBN坩埚做烘干处理。基于处理PBN坩埚的新技术路线,本实用新型正是为解决对充分浸润高纯硼酸溶液的PBN坩埚做烘干处理而提出的一种新的技术方案。
基本信息
专利标题 :
一种PBN坩埚烘干装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021716696.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-17
授权号 :
CN213652731U
授权日 :
2021-07-09
发明人 :
齐正阳李房斌周铁军白平平
申请人 :
广东先导先进材料股份有限公司
申请人地址 :
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021716696.5
主分类号 :
C30B35/00
IPC分类号 :
C30B35/00
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B35/00
未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的装置
法律状态
2022-01-04 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C30B 35/00
登记生效日 : 20211223
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 广东先导先进材料股份有限公司
变更后权利人 : 广东先导微电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
变更后权利人 : 511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
登记生效日 : 20211223
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 广东先导先进材料股份有限公司
变更后权利人 : 广东先导微电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
变更后权利人 : 511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
2021-07-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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