一种坩埚的测温装置及坩埚
授权
摘要
本申请涉及半导体材料制备的温控领域，尤其是一种坩埚的测温装置包括：测温组件，测温组件包括：热电偶，热电偶位于坩埚轴内，热电偶上具有探针，探针延伸至坩埚的底部；固定组件，固定组件用于固定热电偶，固定组件位于热电偶与坩埚轴的内壁之间，固定组件分别与热电偶、坩埚轴的内壁连接。在本申请的坩埚的测温装置中，有利于提高热电偶与坩埚轴的同心度，减小坩埚在旋转过程中热电偶由于同心度不高而产生离心力的可能，进而减少热电偶变形、与内壁发生碰撞的情况发生，解决了现有技术中测温装置的使用寿命短的技术问题；达到延长测温装置的使用寿命的技术效果。
基本信息
专利标题 ：
一种坩埚的测温装置及坩埚
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122768367.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-04-18
授权号 ：
CN216669027U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
叶钢飞倪军夫石明智俞安洲王小飞傅林坚曹建伟
申请人 ：
浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122768367.6
主分类号 ：
G01K1/14
IPC分类号 ：
G01K1/14 G01K1/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K1/14
支撑；固定装置；在特殊位置安装温度计的布置
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
