一种坩埚下降法生长炉测温装置
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摘要

本实用新型涉及生长炉测温领域,尤其涉及一种坩埚下降法生长炉测温装置,该装置在晶体生长过程中,可以实时测得坩埚底部温度,且不影响设备真空性能。包括密封石英管,密封石英管外侧设有加热器,密封石英管内底面固定设有托盘支撑杆,所述的托盘支撑杆顶部固定设有坩埚托盘,坩埚托盘上设有坩埚,所述的密封石英管下方设有竖向的密封可伸缩波纹管,密封可伸缩波纹管顶部与密封石英管底面固定连接,密封可伸缩波纹管底部与旋转磁流体顶部固定连接,旋转磁流体底部设有第一同步带轮,第一同步带轮通过同步带与第二同步带轮相连接,第二同步带轮设于旋转电机上,所述的密封石英管中心位置插置有热电偶。它操作简单,使用方便,适用于多种场所。

基本信息
专利标题 :
一种坩埚下降法生长炉测温装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022533749.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-11-05
授权号 :
CN212988619U
授权日 :
2021-04-16
发明人 :
乔晓杰姜焕富
申请人 :
山东晶升电子科技有限公司
申请人地址 :
山东省济南市历下区历山路49号1120室
代理机构 :
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 :
刘晓明
优先权 :
CN202022533749.6
主分类号 :
G01K7/02
IPC分类号 :
G01K7/02  G01K1/14  C30B11/00  C30B28/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01K
温度测量;热量测量;未列入其他类目的热敏元件
G01K7/02
利用热电元件,例如热电偶
法律状态
2021-04-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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