氧化锌单晶的通气坩埚下降生长方法
专利权的终止
摘要

本发明涉及第三代半导体材料ZnO晶体的通气坩埚下降生长方法,属于单晶生长领域。特征是:将初始原料ZnO(4N)与助熔剂按一定的摩尔比称量、配料并均匀混合,装入贵金属坩埚内;将坩埚置于事先设计好的具有通气或通水系统的保温陶瓷管内,在下降炉中加热熔化原料;待原料完全熔化后,通入气体或水并开始以小于2mm/h速率下降坩埚,待全部熔体凝固并冷却到室温后,可获得所需的ZnO单晶。本方法的特点在于,坩埚底部通入气体使坩埚局部过冷并快速形成晶核,从而能够生长出大尺寸ZnO晶体。本方法工艺设备简单,操作方便,可一炉生长多个晶体,有利于实现晶体生长的工业化。

基本信息
专利标题 :
氧化锌单晶的通气坩埚下降生长方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1844488A
申请号 :
CN200610025074.6
公开(公告)日 :
2006-10-11
申请日 :
2006-03-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
徐家跃李新华申慧钱国兴罗丽庆武安华林雅芳
申请人 :
中国科学院上海硅酸盐研究所
申请人地址 :
200050上海市定西路1295号
代理机构 :
上海智信专利代理有限公司
代理人 :
潘振甦
优先权 :
CN200610025074.6
主分类号 :
C30B11/00
IPC分类号 :
C30B11/00  C30B29/16  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B11/00
正常凝固法或温度梯度凝固法的单晶生长,例如晶体生长坩埚下降法Bridgman-Stockbarger法
法律状态
2012-06-13 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101262111822
IPC(主分类) : C30B 11/00
专利号 : ZL2006100250746
申请日 : 20060324
授权公告日 : 20080109
终止日期 : 20110324
2008-01-09 :
授权
2006-12-06 :
实质审查的生效
2006-10-11 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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