一种玻璃基板冷却水喷淋装置
授权
摘要
本实用新型属于水喷淋装置相关技术领域，具体涉及一种玻璃基板冷却水喷淋装置，一种玻璃基板冷却水喷淋装置，包括工作台、排水组件和冷却组件，所述工作台内部设置有排水组件，所述工作台侧端设置有冷却组件；所述冷却组件包括储存桶、第一进气软管、第一气囊和喷淋单元，所述储存桶固接在工作台底部，所述储存桶侧面设置有第一气囊，所述第一气囊通过第一进气软管与储存桶连通，本实用新型中，通过设置的气囊，使储存桶内部气压升高，将冷却水运输到喷淋单元内，喷淋单元将冷却水喷出，通过气囊和喷淋组件之间的配合，可以实现自由的控制冷却水流量的大小和开关。
基本信息
专利标题 ：
一种玻璃基板冷却水喷淋装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021744503.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-19
授权号 ：
CN212874442U
授权日 ：
2021-04-02
发明人 ：
付丽丽孙辉辉
申请人 ：
彩虹（合肥）液晶玻璃有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市新站区涂山路与奎河路交口西300米
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
邓凌云
优先权 ：
CN202021744503.7
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-04-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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