一种用于钙钛矿太阳电池制备的旋涂装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于钙钛矿太阳电池制备的旋涂装置，包括装置主体，所述装置主体内底部螺栓连接有第一旋转电机，装置主体顶部外侧安装有混胶箱，所述第一旋转电机的输出端固定连接有载物台，所述载物台上放置有晶片，所述载物台的正上方设置有支撑板，所述支撑板下端中部安装有滴胶管，支撑板下端左右两侧安装有热光灯，所述滴胶管依次通过连接软管和出胶管和混胶箱内部相连通，本实用新型将光刻胶制备、涂覆和烘干三道工序结合为一体，一方面提高了工作效率，另一方面节约了投资成本。
基本信息
专利标题 ：
一种用于钙钛矿太阳电池制备的旋涂装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021750369.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-20
授权号 ：
CN212810344U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
李璠王晓峰夏雪峰王腾逸
申请人 ：
南昌大学
申请人地址 ：
江西省南昌市红谷滩新区学府大道999号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021750369.1
主分类号 ：
H01L51/42
IPC分类号 ：
H01L51/42 H01L51/48
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
