本实用新型涉及一种颗粒收集设备，其用于从表面收集颗粒以在测试体的技术清洁度的测试中进行颗粒分析，并包括：离心分离器，其上连接有用于从待测试的表面抽吸颗粒/空气混合物的抽吸管线；用于收集颗粒的收集容器；和负压供应管线，其包括用于保持能够更换的、具有颗粒收集表面的分析过滤器的过滤器保持架。离心分离器的潜管连接到负压供应管线，使得在抽吸运行模式中从离心分离器中抽吸的并流过负压供应管线的空气在达到负压源之前流经布置在滤器保持架中的分析过滤器，以用于将颗粒拦截在颗粒收集表面上。本实用新型还涉及一种包括颗粒收集设备以及颗粒分析装置的清洁系统。