电镀载具

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摘要

本实用新型提供一种电镀载具。电镀载具包括阳极底板及导电线环，阳极底板上设置有容纳凹槽，容纳凹槽的周向设置有环形导电层，阳极底板上还设置有导电线，导电线与环形导电层电连接且导电线向远离容纳凹槽的方向延伸，导电线环嵌设于容纳凹槽内，且导电线环和阳极底板上的导电线焊接，导电线环和导电线的焊接点表面覆盖有密封胶，待电镀的晶圆位于容纳凹槽内，且嵌设于导电线环的内侧。本实用新型的电镀载具经改善的结构设计，可以有效避免因局部过热导致电镀载具的烧焦损坏，有助于延长电镀载具的使用寿命，降低生产成本。采用本实用新型的电镀载具进行的电镀方法，有助于提高电镀质量和降低电镀成本。

基本信息

专利标题：

电镀载具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021763197.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-21

授权号：

CN212451704U

授权日：

2021-02-02

发明人：

刘翔王荣荣周祖源吴政达

申请人：

中芯长电半导体（江阴）有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市江阴市长山大道78号

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙)

代理人：

余明伟

优先权：

CN202021763197.1

主分类号：

C25D17/06

IPC分类号：

C25D17/06 C25D7/12