电镀载具
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型提供一种电镀载具。电镀载具包括阳极底板、导电板及盖板,导电板包括导电板本体及导电线,阳极底板上设置有容纳凹槽及线槽,导电板本体嵌设于容纳凹槽内,导电线嵌设于线槽内,待电镀的晶圆位于导电板本体的表面,盖板覆盖晶圆的周向边缘,盖板与阳极底板相固定。本实用新型经改善的结构设计,采用导电板将待电镀的晶圆与电源电连接,而无需在阳极底板上另外设置导电线,可以有效确保晶圆在电镀过程中的电连接,可以有效提高电镀品质,减少晶圆污染,且有助于延长电镀载具的使用寿命,降低生产成本。采用本实用新型的电镀载具进行的电镀方法,有助于提高电镀质量和降低电镀成本。
基本信息
专利标题 :
电镀载具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021764526.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-21
授权号 :
CN212451705U
授权日 :
2021-02-02
发明人 :
刘翔王荣荣周祖源吴政达
申请人 :
中芯长电半导体(江阴)有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市江阴市长山大道78号
代理机构 :
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 :
余明伟
优先权 :
CN202021764526.4
主分类号 :
C25D17/06
IPC分类号 :
C25D17/06 C25D7/12
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
C25D17/06
施镀制品的悬挂或支承装置
法律状态
2021-07-02 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C25D 17/06
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中芯长电半导体(江阴)有限公司
变更后 : 盛合晶微半导体(江阴)有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214437 江苏省无锡市江阴市长山大道78号
变更后 : 214437 江苏省无锡市江阴市长山大道78号(经营场所江阴市东盛西路9号)
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中芯长电半导体(江阴)有限公司
变更后 : 盛合晶微半导体(江阴)有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214437 江苏省无锡市江阴市长山大道78号
变更后 : 214437 江苏省无锡市江阴市长山大道78号(经营场所江阴市东盛西路9号)
2021-02-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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