一种线位移标准装置的运动平台结构
授权
摘要

本实用新型通过一种线位移标准装置的运动平台结构,所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台、待测位移传感器、激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物,所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜,所述干涉镜组靠近激光干涉仪,所述干涉镜组与第一平面反射镜保持同步位移,所述第二平面反射镜与待测位移传感器保持同步位移,所述激光干涉仪的激光镜头、干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜处于同一直线上,所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。本实用新型公开的一种线位移标准装置的运动平台结构能够实现检测高精度位移传感器的效果。

基本信息
专利标题 :
一种线位移标准装置的运动平台结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021774643.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-24
授权号 :
CN213455396U
授权日 :
2021-06-15
发明人 :
李太景赵新丽刘佳张子辰
申请人 :
中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
申请人地址 :
北京市海淀区温泉镇环山村
代理机构 :
上海愉腾专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
唐海波
优先权 :
CN202021774643.9
主分类号 :
G01B21/02
IPC分类号 :
G01B21/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/00
不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件
G01B21/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2021-06-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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