微位移标准器

专利申请的驳回

摘要

一种能给出标准微小位移值的微位移标准器，它包括：一维、二维和三维，其中结合附图说明三维的微位移标准器。它是在三维高精度微动工作台中，某一维用分段一微米以及在一微米范围内用阶跃扫描、分段积分法标定压电陶瓷非线性特性后的压电陶瓷驱动器给出分辨率为0.001微米，精度可以达到0.005微米的标准位移值或表面轮廓曲线，从而可以用它作为几何量计量中检定用的标准器具。可以用它检定相应的测微仪表、仪器或电动轮廓仪器，弥补用量块或表面粗糙度样板检定时不能在0.001—0.1微米范围内连续给出标准值的缺陷。

基本信息

专利标题：

微位移标准器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1065522A

申请号：

CN91104174.5

公开（公告）日：

1992-10-21

申请日：

1991-06-18

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

朱若谷

申请人：

中国计量学院

申请人地址：

310034浙江省杭州市教工三路

代理机构：

代理人：

优先权：

CN91104174.5

主分类号：

G01B21/02

IPC分类号：

G01B21/02