一种超高真空样品转移腔
授权
摘要
本发明公开了一种超高真空样品转移腔,包括:转移腔、辅助腔、传样磁力杆、摆动磁力杆、观察窗、离子泵、插板阀、进气阀、真空计组成,所述转移腔焊接有七根真空管路,所述真空管路真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰;所述辅助腔焊接有五根真空管路,所述真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰,所述传样磁力杆、摆动磁力杆、观察窗、离子泵、插板阀与转移腔连接;所述插板阀另一端与辅助腔法兰连接,所述真空计、进气阀与辅助腔法兰连接。这样能保证样品在超高真空系统间转移时一直处于超高真空环境中,防止外界对样品的污染,同时不会破坏设备的真空,便于操作。
基本信息
专利标题 :
一种超高真空样品转移腔
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021785006.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-25
授权号 :
CN213337678U
授权日 :
2021-06-01
发明人 :
董国材张祥梁枫
申请人 :
国成仪器(常州)有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市常州西太湖科技产业园祥云路6号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021785006.1
主分类号 :
G01N35/10
IPC分类号 :
G01N35/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N35/00
不限于用G01N1/00至G01N33/00中任何单独一组提供的方法或材料所进行的自动分析;及材料的传送
G01N35/10
用于将样品传送给、传送入分析仪器或从分析仪器中输出样品的装置,例如吸入装置、注入装置
法律状态
2021-06-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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