一种真空样品转移装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空样品转移装置，属于扫描电镜真空配件技术领域。它包括传样部分、球阀、对接部分和样品测试部分，所述传样部分包括旋转滑块、密封板、传样筒、样品夹台、样品托、移动抓取机构、传样杆、固定筒。本实用新型隔绝了待测样品与大气的接触，避免了样品受空气污染或侵蚀，使样品一直处于真空环境；避免了每次测样都需要打开电镜舱门，节省了重新抽真空的时间，使得电镜一直处于真空状态下；提高了电镜的使用寿命，同时扫描电镜出故障几率，节约昂贵的维修费用，提高仪器的使用率。
基本信息
专利标题 ：
一种真空样品转移装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020587354.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-20
授权号 ：
CN212083474U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
张政陈栋郭云飞黄勇衡潘
申请人 ：
上海微纳国际贸易有限公司
申请人地址 ：
上海市闵行区泰虹路268弄2号708室
代理机构 ：
上海怡恩专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
牟俊玲
优先权 ：
CN202020587354.1
主分类号 ：
G01Q30/20
IPC分类号 ：
G01Q30/20 G01Q30/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q30/00
用于辅助或改进扫描探针技术或设备的辅助手段，例如显示或数据处理装置
G01Q30/20
样品处理装置或方法
法律状态
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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