电镜样品杆真空保存装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种电镜样品杆真空保存装置，包括：抽真空组件，包括真空泵；及至少两个样品杆储存组件，样品杆储存组件包括样品杆存储管、电磁阀及放气阀，样品杆存储管的两端分别设有插口及通气口，电磁阀连接真空泵及样品杆存储管的通气口，电磁阀用于控制真空泵与样品杆存储管的通气口连通或断开；放气阀连接样品杆存储管的通气口，放气阀用控制样品杆存储管的通气口与外界空气连通或断开。上述电镜样品杆真空保存装置，每个样品杆储存组件的样品杆存储管由独立的电磁阀及放气阀控制，从而对某根样品杆进行存取时，只需打开或关闭该样品杆存储管所对应的电磁阀及放气阀即可，不影响其他样品杆存储管内的样品杆的真空存储状态。

基本信息

专利标题：

电镜样品杆真空保存装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921815013.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-25

授权号：

CN210894169U

授权日：

2020-06-30

发明人：

姚莉顾斌宾朱玉宝

申请人：

苏州优波光电科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市苏州工业园区中银惠龙大厦1幢3201室

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

刘宁

优先权：

CN201921815013.9

主分类号：

G01N23/02

IPC分类号：

G01N23/02 G01N23/20025 G01L21/00 H01J37/20