一种真空样品台
授权
摘要

一种真空样品台,包括真空腔、样品放置台、伸缩杆、磁耦合驱动装置和真空泵系统,其特征在于,所述伸缩杆套接于所述磁耦合驱动装置内,所述磁耦合驱动装置于所述真空腔的侧壁密封连接,所述伸缩杆远离所述磁耦合驱动装置的一端设置有所述样品放置台,远离所述磁耦合驱动装置一端的所述真空腔侧壁设有可开闭的密封门,所述伸缩杆通过所述磁耦合驱动装置的控制伸缩和旋转,并且可通过所述密封门伸出所述真空腔,所述真空腔顶部设有观察窗,所述抽空装置设于所述真空腔侧壁。

基本信息
专利标题 :
一种真空样品台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920916702.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-18
授权号 :
CN210545183U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
王燕东王文冲迟力峰
申请人 :
苏州驰鸣纳米技术有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号B07楼327-6单元
代理机构 :
宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈栋
优先权 :
CN201920916702.2
主分类号 :
B01L1/00
IPC分类号 :
B01L1/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01L
通用化学或物理实验室设备
B01L1/00
外壳;腔室
法律状态
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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