一种亚微米多自由度超高真空样品台
授权
摘要
本实用新型提供了一种亚微米多自由度超高真空样品台。包括旋转平台、旋转轴和亚微米三维平移台；其中，所述亚微米三维平移台包括样品杆，所述样品杆位于所述亚微米三维平移台下方，并与所述亚微米三维平移台固定连接，所述旋转平台位于所述亚微米三维平移台下方，并通过所述旋转轴与所述亚微米三维平移台连接。其中本实用新型的有益效果是：解决了现有技术中样品杆不在旋转轴上时，旋转时，测量微区移动，没法盯着一点测量旋转时，总长更长、相对轴线做旋转运动时偏摆幅度大的技术问题。本实用结构简单，便于使用，精度更高。
基本信息
专利标题 ：
一种亚微米多自由度超高真空样品台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021953178.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-09
授权号 ：
CN212931485U
授权日 ：
2021-04-09
发明人 ：
赵嘉峰池彬谢斌平欧宏炜
申请人 ：
费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区3号楼
代理机构 ：
上海国瓴律师事务所
代理人 ：
傅耀
优先权 ：
CN202021953178.5
主分类号 ：
G01D11/30
IPC分类号 ：
G01D11/30 G01D11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D11/00
非专用于特定变量的测量装置的组件
G01D11/30
专门适用于一台仪器的支架；专门适用于一组仪器的支架
法律状态
2021-04-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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