夹具装置
授权
摘要
本实用新型的实施例提供一种夹具装置，其可以包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于转动轴；第二夹紧部件，具有支承所述基板的第二面的基板支承面；支承垫，设置于所述第一夹紧部件的基板支承面或所述第二夹紧部件的基板支承面，并与所述基板接触；以及致动器，通过驱动力传递部件和驱动力传递杆连接于所述第一夹紧部件，并构成为使所述第一夹紧部件以所述转动轴为中心能够旋转的方式构成。
基本信息
专利标题 ：
夹具装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021791216.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
CN212848354U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
方圭龙金贤正
申请人 ：
塔工程有限公司
申请人地址 ：
韩国庆尚北道
代理机构 ：
北京弘权知识产权代理有限公司
代理人 ：
王建国
优先权 ：
CN202021791216.1
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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