一种晶圆机台机架箱体的抽气系统及其风扇安装支架
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于晶圆机台的风扇安装支架，包括：支架主体，支架主体是包括空腔的直板形主体，并且支架主体的一端延伸出延伸部；延伸部包含空腔；进气部，该进气部设置在延伸部上；出气部，该出气部设置在支架主体的另一端上；其中，与进气部相对的延伸部侧面与支架主体形成钝角。本实用新型还涉及一种晶圆机台机架箱体的抽气系统。本实用新型的系统将直流风扇升级为涡轮风扇，避免叶片摩擦其它部件产生碎片颗粒，影响洁净度，通过风扇安装支架的改造，将风扇下移动，避免风扇正对晶圆承载平台。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆机台机架箱体的抽气系统及其风扇安装支架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021799088.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
CN212985631U
授权日 ：
2021-04-16
发明人 ：
别成荣
申请人 ：
和舰芯片制造（苏州）股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号
代理机构 ：
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈黎明
优先权 ：
CN202021799088.5
主分类号 ：
F04D29/64
IPC分类号 ：
F04D29/64 F04D25/08 F04D25/16 F04D27/00 H01L21/67 F16M13/02 F16M11/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D29/00
零件、部件或附件
F04D29/60
安装；装配；拆卸
F04D29/64
轴流泵的
法律状态
2021-04-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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