双层悬梁结构流量传感器及应用其的控制电路
授权
摘要
本实用新型双层悬梁结构流量传感器及应用其的控制电路,自下至上依次包括衬底、下层绝缘介质层、下层金属极板、锚区、上层绝缘介质层、上层金属极板;衬底开设有第一窗口,下层绝缘介质层开设有释放第一窗口的第二窗口;第二窗口横跨有第一悬臂梁,第一悬臂梁两端固定;上层绝缘介质层向第一窗口水平延伸出第二悬臂梁,下层金属极板的第一触点上方。开设的第一窗口,形成气流通道,为第二悬臂梁的变形提供基础,基于第一悬臂梁为两端固定,不会受到气流的影响而变形,仅仅只有第二悬臂变形,实现两个悬臂间的间距发生变化,从而实现电容值的变化,满足流量传感器的测量需求,流量传感器灵敏度高;该流量传感器整体结构简单,易制作。
基本信息
专利标题 :
双层悬梁结构流量传感器及应用其的控制电路
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021809176.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-26
授权号 :
CN212963498U
授权日 :
2021-04-13
发明人 :
陈栋梁张岩薛峰
申请人 :
合肥微纳传感技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼16层1608-1610室
代理机构 :
合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张景云
优先权 :
CN202021809176.9
主分类号 :
G01F1/56
IPC分类号 :
G01F1/56
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量;按容积进行测量
G01F1/00
测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量
G01F1/56
应用电或磁效应
法律状态
2021-04-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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