坩埚喷涂机器人定位架
授权
摘要

一种坩埚喷涂机器人定位架,包括多个支撑柱,支撑柱底部可拆卸地设有底座,支撑柱上套接有纵向滑动套管,每个纵向滑动套管上设有两个滑动杆,两个滑动杆呈V形设置;底座上设有两个滑动杆,两个滑动杆呈V形设置;多个支撑柱上配备的滑动杆围合形成了多边形结构,相邻两个支撑柱之间的滑动杆通过连接杆滑动连接。本实用新型通用性高,适合目前市场多数矩形坩埚;结构简单,所有配件均可拆卸,方便收纳。适合目前市场上大尺寸硅片、铸造单晶等对坩埚尺寸要求变化高、喷涂细节要求高的喷涂机器人进行频繁对位程序调节。

基本信息
专利标题 :
坩埚喷涂机器人定位架
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021809675.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-26
授权号 :
CN213194233U
授权日 :
2021-05-14
发明人 :
周晓康鞠磊
申请人 :
宜昌南玻硅材料有限公司;中国南玻集团股份有限公司
申请人地址 :
湖北省宜昌市猇亭区南玻路1号
代理机构 :
宜昌市三峡专利事务所
代理人 :
成钢
优先权 :
CN202021809675.8
主分类号 :
B05B13/02
IPC分类号 :
B05B13/02  B05B13/06  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B13/00
不包含在B05B1/00至B05B11/00各组中的,用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备
B05B13/02
支撑工件的装置;喷头的配置或安装;进给工件装置的改进或配置
法律状态
2021-05-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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