一种双面抛光机上盘压布装置
授权
摘要

本实用新型涉及一种双面抛光机上盘压布装置,所属双面抛光机技术领域,包括双面抛光机上定盘,所述的双面抛光机上定盘上端设有与双面抛光机上定盘相法兰连接固定的上定盘升降油缸,所述的双面抛光机上定盘下端设有与双面抛光机上定盘相活动式压紧触接的压布滚轮组件,所述的压布滚轮组件下方设有移动底座,所述的移动底座与压布滚轮组件间设有与压布滚轮组件相法兰连接固定的升降调节液压臂。具有省时省力、受力均匀度高和使用效果好的特点。解决了粘接面状态差的问题。提高了操作过程的安全可靠性,便于搬运。

基本信息
专利标题 :
一种双面抛光机上盘压布装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021813858.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-26
授权号 :
CN213225647U
授权日 :
2021-05-18
发明人 :
苏鹏辉
申请人 :
杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号
代理机构 :
杭州融方专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
沈相权
优先权 :
CN202021813858.7
主分类号 :
B24B29/02
IPC分类号 :
B24B29/02  B24B55/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2021-05-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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