一种可冷却铜盘的探针台
授权
摘要

本实用新型涉及芯片测试设备技术领域,尤其涉及一种可冷却铜盘的探针台,包括:基座;铜盘,连接有驱动机构,可转动设置在所述基座上;第一冷却组件,包括可拆卸安装在所述基座上的主体,所述主体上靠近所述铜盘的一端设置有气嘴,所述气嘴连接有外置的冷却管;第二冷却组件,固定安装在所述基座上,所述第二冷却组件位于所述铜盘的下方本实用新型在基座上设置第一冷却组件和第二冷却组件,并且第一冷却组件的气嘴对准铜盘的上端面,第二冷却组件设置在铜盘的下方,通过第一冷却组件和第二冷却组件共同对铜盘进行冷却,加快铜盘的冷却效率,提高设备的使用率以及芯片的测试效率。

基本信息
专利标题 :
一种可冷却铜盘的探针台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021828447.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-27
授权号 :
CN212905055U
授权日 :
2021-04-06
发明人 :
吴俊陈凯跃
申请人 :
珠海市中芯集成电路有限公司
申请人地址 :
广东省珠海市南屏科技工业园屏西三路8号厂房一层
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
卢泽明
优先权 :
CN202021828447.5
主分类号 :
G01R1/067
IPC分类号 :
G01R1/067  G01R31/28  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线;测量探针
G01R1/067
测量探针
法律状态
2021-04-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332