一种晶圆圆心位置纠心装置
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摘要

本实用新型公开了一种晶圆圆心位置纠心装置,包括底座,所述底座上端两侧设置的撑柱上端由撑板连接,且撑柱与撑板的上端连接有连接块,连接块上端中部开设的凹槽两端设置有固定竖板,固定竖板的两个中部设置有晶圆槽座,且晶圆槽座的中部开设有晶圆放置槽,晶圆槽座的下端设置有固定细杆,固定竖板的外端设置的电动推杆杆体连接电动推杆,且电动推杆下端设置有连接板。该晶圆圆心位置纠心装置,结构设置合理,首先将激光灯体照射出激光,因激光接收槽与激光灯体端口相对应,在由螺丝固定住滑块,避免其再次移动,之后将晶圆放置到晶圆放置槽上进行加工,操作简便,可以更加快捷的进行晶圆圆心位置的纠心,可以大大加快了工作效率。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆圆心位置纠心装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021861112.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-31
授权号 :
CN212570931U
授权日 :
2021-02-19
发明人 :
巩铁建陶为银
申请人 :
河南通用智能装备有限公司
申请人地址 :
河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号
代理机构 :
郑州中原专利事务所有限公司
代理人 :
范小方
优先权 :
CN202021861112.3
主分类号 :
H01L21/66
IPC分类号 :
H01L21/66  H01L21/67  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2021-02-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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