一种真空装置的热源结构
授权
摘要
本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种真空装置的热源结构，其包括真空罩以及热源组件，热源组件包括热丝网件以及多个液冷电极棒，热丝网件包括热丝网架以及均布于热丝网架的多个发热丝，热丝网架位于真空罩内部并承载于多个液冷电极棒上。需要镀层处理的多个刀具工件放置于热丝网架的下方，并调节刀具工件与发热丝之间的高度，以使得刀具工件处于最佳的反应温度，多个发热丝均布于热丝网架，使得发热均匀，避免刀柄出现黑化现象，大大提高良品率，液冷电极棒为中空结构，工作时，对液冷电极棒导入流动的冷却液，在接入电流的同时实现自身的冷却，避免液冷电极棒烧坏，大大延长使用寿命，降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种真空装置的热源结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021871961.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
CN213388884U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
王俊锋袁明谢文荣秦兴耀王锋
申请人 ：
广东鼎泰机器人科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇赤岭村工业区一横南路12号
代理机构 ：
东莞市华南专利商标事务所有限公司
代理人 ：
袁敏怡
优先权 ：
CN202021871961.7
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/46
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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