一种涂层机的真空加热装置
授权
摘要
本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种涂层机的真空加热装置，其包括真空罩、热源组件以及升降载料台，热源组件包括热丝网架、发热丝拉紧件、多个液冷电极棒以及多个发热丝，热丝网架承载于多个液冷电极棒上，液冷电极棒用于对发热丝供电，冷却液导入液冷电极棒内部以实现冷却，发热丝拉紧件固定安装于热丝网架，发热丝拉紧件用于拉紧多个发热丝，升降载料台位于热丝网架下方并用于承载刀具，发热丝用于对工件加热。本实用新型能够在接入电流的同时实现冷却，避免电极棒烧坏，精确控制刀具与发热丝的受热距离，对多个发热丝进行拉紧而控制多个发热丝的张紧度保持一致，实现沉积温度均匀，有效避免刀柄出现黑化现象，提高良品率。
基本信息
专利标题 ：
一种涂层机的真空加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021871965.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
CN213388892U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
王俊锋袁明谢文荣秦兴耀王锋
申请人 ：
广东鼎泰机器人科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇赤岭村工业区一横南路12号
代理机构 ：
东莞市华南专利商标事务所有限公司
代理人 ：
袁敏怡
优先权 ：
CN202021871965.5
主分类号 ：
C23C16/52
IPC分类号 ：
C23C16/52 C23C16/27 B25B25/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/52
镀覆工艺的控制或调整
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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