扭矩传感器
授权
摘要
本申请公开了一种扭矩传感器，包括衬底；外延层，位于所述衬底上；多个第一掺杂区和多个第二掺杂区，分别位于所述外延层中；多个第一欧姆接触区，位于所述第一掺杂区的两端；多个第二欧姆接触区，位于所述第二掺杂区的两端；以及第一隔离结构，位于所述外延层和所述衬底中，包围所述第一掺杂区和第二掺杂区。本实用新型的扭矩传感器通过额外设置弯矩感测单元，同时获得扭矩感测信号和弯矩信号，采用弯矩信号对扭矩感测信号进行补偿，消除弯矩对扭矩感测信号的影响，可以提高测量的扭矩值的准确度。
基本信息
专利标题 ：
扭矩传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021912136.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-04
授权号 ：
CN212425433U
授权日 ：
2021-01-29
发明人 ：
汪建平邓登峰
申请人 ：
杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市黄姑山路4号
代理机构 ：
北京成创同维知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡纯
优先权 ：
CN202021912136.7
主分类号 ：
B81B7/04
IPC分类号 ：
B81B7/04 B81C1/00 G01L3/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
B81B7/04
类似的微观结构装置的网络或排列
法律状态
2021-01-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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