用于真空离子镀膜机的冷却循环装置
授权
摘要
本实用新型公开了用于真空离子镀膜机的冷却循环装置，包括外壳体，所述冷却管通过第一抽吸泵和第二抽吸泵与水箱呈循环连通连接，且冷却管与内仓外壁呈包裹连接。该用于真空离子镀膜机的冷却循环装置的外壳体另一侧设有水箱，且外壳体内设有内仓，而内仓外壁设有冷却管，且冷却管一侧设有连通管，而且连通管另一端设有第一抽吸泵和第二抽吸泵，且第一抽吸泵和第二抽吸泵均与水箱连通连接，并且第一抽吸泵另一端设有抽吸管，而第二抽吸泵另一端设有连接孔，而且冷却管通过第一抽吸泵和第二抽吸泵与水箱呈循环连通连接，且冷却管与内仓外壁呈包裹连接，这样使得该装置可以进行包裹贴合冷却，并且可以进行循环更换冷却液，冷却效果更好。
基本信息
专利标题 ：
用于真空离子镀膜机的冷却循环装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021919877.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-07
授权号 ：
CN213295488U
授权日 ：
2021-05-28
发明人 ：
张玉龙仇得弟张宗坡
申请人 ：
唐山佳坤钛金科技工程有限公司
申请人地址 ：
河北省唐山市高新区银河路66号二排5号
代理机构 ：
天津市鼎拓知识产权代理有限公司
代理人 ：
任小鹏
优先权 ：
CN202021919877.8
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2021-05-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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