一种芯片生产用具有磨刷功能的显影机
授权
摘要

本实用新型公开了一种芯片生产用具有磨刷功能的显影机,包括显影机本体,所述显影机本体顶部的右侧固定连接有箱体,所述箱体内腔的顶部与底部之间固定连接有隔板,所述箱体内腔的底部且位于隔板的两侧均固定连接有输送平台,所述箱体内腔顶部的两侧且位于隔板的左侧均固定连接有气缸,所述隔板的左侧设置有调节板,所述气缸输出端的底部与调节板固定连接。本实用新型通过设置箱体、隔板、水箱、喷嘴、控制盒、第二电机、凸轮、活动板、控制杆、弹簧、推块、密封板、水泵、进水管和软管,解决了现有芯片生产用具有磨刷功能的显影机冲洗效果差的问题,该具有磨刷功能的显影机,具备冲洗效果好的优点,值得推广。

基本信息
专利标题 :
一种芯片生产用具有磨刷功能的显影机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021920697.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-07
授权号 :
CN213122603U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
练小娜步苗苗
申请人 :
步苗苗
申请人地址 :
广东省广州市从化区明珠工业园明珠大道北吉祥大道8号
代理机构 :
济南文衡创服知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
赵可
优先权 :
CN202021920697.1
主分类号 :
G03F7/30
IPC分类号 :
G03F7/30  H01L21/677  H01L21/67  B08B3/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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