一种固体前驱体升华装置
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摘要
本实用新型属于沉积设备技术领域，公开一种固体前驱体升华装置。包括卧式圆柱容器，该容器的两端设有流体入口和流体出口，容器内沿其轴心线设有空心转轴并从流体入口延伸出来，空心转轴在伸出流体入口之后设有进气口，空心转轴在流体入口内的部位开设有气孔；空心转轴在伸出流体入口之后连接有电机；容器内空心转轴上同心均匀连接有若干个盘状件，盘状件直径＜容器内直径，盘状件上均匀开设有流体通孔，盘状件上避开流体通孔涂覆有固态前驱体；容器外部设有加热单元，所述加热单元包括加热器以及与其连接的温度调节器。本实用新型提高了载气饱和度，保证了固态前驱体蒸汽在载气中的浓度稳定。
基本信息
专利标题 ：
一种固体前驱体升华装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021943598.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN213652634U
授权日 ：
2021-07-09
发明人 ：
张东生吴恒李江涛姚栋嘉刘喜宗王亚辉杨超张相国
申请人 ：
巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市巩义市站街镇胡坡村
代理机构 ：
郑州豫开专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张智伟
优先权 ：
CN202021943598.5
主分类号 ：
C23C16/455
IPC分类号 ：
C23C16/455 C23C16/448
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2021-07-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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