本实用新型涉及防止特气污染装置，包括控制箱，所述控制箱中设有特气供气盘面、氮气吹扫管路和原隔离阀门，所述原隔离阀门的一侧安设有新增隔离阀门，所述新增隔离阀门与所述原隔离阀门之间连接有新增压力传感器，所述特气供气盘面上安装有调配组件，为加强防止内部泄漏交叉污染，通过于特气柜盘面特定位置处增加阀件及压力传感器的形式,可及时发现问题并立即处理，有效防止当阀门有问题发生交叉污染时无法及时发现,当工艺制程出现问题时已经造成巨大损失的情况发生，解决了原先当正常供应特气时,氮气控制阀门是关闭状态,当发生控制阀门损坏内漏时氮气将影响到特气的纯度导致工艺制程出问题,防范性较差的问题，安全性高。