照明装置及暗场检测系统
授权
摘要
本发明涉及一种照明装置和暗场检测系统,所述照明装置包括光源、光导及光路整形机构,所述照明装置具有第一轴线;其中,所述光导具有多个输出分端,多个所述输出分端环绕所述第一轴线间隔布置,每个所述输出分端皆为狭缝,并与所述第一轴线形成夹角;所述光路整形机构设置于所述输出分端的出口端,以与所述输出分端共同形成光路成形路径,所述光路成形路径对目标物形成环形照射;所述光源输出照明光束,所述照明光束耦合至所述光导并从所述输出分端输入所述光路整形机构,经由所述光路整形机构整形后的所述照明光束入射至所述目标物,并在所述目标物上叠加以形成线型照射区。该照明装置具有结构小巧,易于安装的优点。
基本信息
专利标题 :
照明装置及暗场检测系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022015751.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-15
授权号 :
CN212430512U
授权日 :
2021-01-29
发明人 :
王婷婷李运锋
申请人 :
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区张东路1525号
代理机构 :
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 :
王宏婧
优先权 :
CN202022015751.4
主分类号 :
F21S2/00
IPC分类号 :
F21S2/00 F21V8/00 F21V11/00 F21V13/04 G01N21/95 G01N21/88
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F21
照明
F21S
非便携式照明装置或其系统
F21S
非便携式照明装置或其系统
F21S2/00
不包含在大组F21S 4/00至F21S 10/00或F21S 19/00中的照明装置系统,例如模块化结构的
法律状态
2021-01-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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