一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置
授权
摘要
本实用新型涉及太阳能电池加工领域，尤其涉及一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置，包括支架以及若干可叠层内嵌在支架内部的硅片装载台，所述支架包括一个底座以及设置在底座四个边角的立杆，所述硅片装载台中部设置有内凹的抛光池，所述抛光池四周设置有用于支撑硅片边缘的支撑块，所述硅片装载台上表面四条边处均设置有一个定位槽，所述硅片装载台下表面四个边角处均设置有一个用于与定位槽相适配的定位柱。实用新型克服了现有技术中的硅片化学抛光效率较低的缺陷，通过本实用新型能够在抛光过程中在纵向提升硅片的抛光数量，从而有效提升硅片的抛光效率。
基本信息
专利标题 ：
一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022036667.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-16
授权号 ：
CN213184240U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
夏庆华黄成斌姚伟明
申请人 ：
湖州飞鹿新能源科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省湖州市长兴县经济技术开发区高铁路669号浙江长兴国家大学科技园16号楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022036667.0
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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