一种用于半导体用石英环的抛光液自动供给装置
授权
摘要

本实用新型属于半导体技术领域,具体涉及一种石英环用的抛光液供给装置。一种用于半导体用石英环的抛光液自动供给装置,包括抛光液桶、抛光液桶盖、搅拌装置、抛光液供给水泵、纯水桶、原液桶,纯水桶的底部通过纯水泵联通抛光液桶,原液桶的底部通过抛光液调节水泵联通抛光液桶,抛光液桶盖上设有抛光液回水口,抛光液回水口通过管路连接抛光机的抛光液出液口;抛光液桶盖上安装有音叉式密度计和温度传感器,抛光液桶的下方装有半导体制冷块,音叉式密度计分别连接纯水泵、抛光液调节水泵,温度传感器连接半导体制冷块。本实用新型可自动调节抛光液浓度和温度,提高抛光效率和精度,操作简单,使用方便。

基本信息
专利标题 :
一种用于半导体用石英环的抛光液自动供给装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022052037.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-18
授权号 :
CN212527355U
授权日 :
2021-02-12
发明人 :
单佩顾曹鑫
申请人 :
上海菲利华石创科技有限公司
申请人地址 :
上海市嘉定区马陆镇博学路509号1幢1-4层A区、地下1层A区
代理机构 :
上海启核知识产权代理有限公司
代理人 :
达晓玲
优先权 :
CN202022052037.2
主分类号 :
B24B55/02
IPC分类号 :
B24B55/02  B24B49/14  B01F7/16  B01F7/00  B01F15/00  B01D33/03  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B55/00
用于磨床或抛光机的安全装置;配合磨床或抛光机使磨具或机械部件保持良好工作状态的附件
B24B55/02
用于冷却磨削面的设备,如送进冷却液装置
法律状态
2021-02-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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