等离子清洗机

授权

摘要

本实用新型提出一种等离子清洗机。等离子清洗机包括清洗机本体、活动台、夹持治具及腔体组件。其中，清洗机本体包括工作台；活动台可活动地安装于工作台上，活动台包括第一活动台和第二活动台，第一活动台与第二活动台在工作台上的位置可以切换；夹持治具包括第一夹持治具和第二夹持治具，第一夹持治具安装于第一活动台上，第二夹持治具安装于第二活动台上；腔体组件可选择性地盖合于第一活动台和第二活动台的其中之一而形成密封腔，以使得第一夹持治具和第二夹持治具可交替地处于密封腔内。本实用新型的等离子清洗机，能够解决现有等离子清洗机结构复杂的技术问题，降低等离子清洗机的制造成本。

基本信息

专利标题：

等离子清洗机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022116000.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-23

授权号：

CN213856098U

授权日：

2021-08-03

发明人：

叶贤斌李文强杨建新张凯

申请人：

深圳泰德半导体装备有限公司

申请人地址：

广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区工业区坪山镇豪威新材料厂区3#综合楼103

代理机构：

深圳市恒程创新知识产权代理有限公司

代理人：

孔德丞

优先权：

CN202022116000.1

主分类号：

B08B7/00

IPC分类号：

B08B7/00