等离子清洗机
授权
摘要
本实用新型提出一种等离子清洗机。所述等离子清洗机包括清洗机本体、安装件、夹持治具及调节装置。其中，所述清洗机本体包括控制器；所述安装件安装于所述清洗机本体上；所述夹持治具安装于所述安装件上，所述夹持治具具有夹槽，所述夹槽的宽度可调；所述调节装置安装于所述夹持治具的一侧，所述调节装置与所述控制器电连接，所述调节装置用于调节所述夹槽的宽度。本实用新型的等离子清洗机，能够提高夹持治具的兼容性，以提高等离子清洗机的适用性。
基本信息
专利标题 ：
等离子清洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022117148.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-23
授权号 ：
CN213701065U
授权日 ：
2021-07-16
发明人 ：
朱霆叶贤斌李文强杨建新张凯
申请人 ：
深圳泰德半导体装备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区工业区坪山镇豪威新材料厂区3#综合楼103
代理机构 ：
深圳市恒程创新知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘冰
优先权 ：
CN202022117148.7
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B13/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2021-07-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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