等离子清洗机
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种等离子清洗机，该等离子清洗机包括等离子清洗机本体和物料放置轨道；所述物料放置轨道用于放置待清洗物料，所述物料放置轨道设于所述等离子清洗机本体内，所述物料放置轨道的裸露面喷涂有复合陶瓷材料。本发明技术方案通过改变传统的普通物料放置轨道，在物料放置轨道的裸露面喷涂有复合陶瓷材料，利用复合陶瓷材料的电子绝缘性能，确保物料清洗均匀性、保证等离子清洗能量、延长物料放置轨道使用周期、提高物料清洗的时效性。
基本信息
专利标题 ：
等离子清洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114308900A
申请号 ：
CN202111584883.1
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孔令民钟军勇邵文林朱霆周学慧张凯
申请人 ：
深圳泰德半导体装备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区坑梓街道沙田社区新沧海2#810
代理机构 ：
深圳市恒程创新知识产权代理有限公司
代理人 ：
王韬
优先权 ：
CN202111584883.1
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 7/00
申请日 : 20211222
申请日 : 20211222
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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