本实用新型公开了半导体制造领域内的一种机台固定料盘专用治具，包括机台，机台上分别对应放料盘和收料盘设置有一组料盘定位机构，支架上固定连接有导轨，安装座上水平设置两个上下对应的限位辊，位于上侧的限位辊外周开设有两个左右对应的环形限位槽一，两个限位槽一之间留有限位间距一，位于下侧的限位辊外周开设有两个左右对应的环形限位槽二、两个左右对应的环形限位槽三，两个限位槽二之间留有限位间距二，两个限位槽三之间留有限位间距三，所述移动座上设置有锁定组件，中心筒的左右两端均设置有侧板，放料盘、收料盘的两侧板均可卡入相应限位辊的两个相应限位槽内。本实用新型能够固定料盘，避免料盘惯性自转使料带掉落。