刻蚀治具、辅助上料盘及刻蚀治具组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种刻蚀治具、辅助上料盘及刻蚀治具组件，刻蚀治具组件包括刻蚀治具和辅助上料盘，其中刻蚀治具包括结构相同的第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和所述第二夹板的上表面和下表面均涂覆有金属涂层，所述第一夹板和所述第二夹板上均设置有开窗；多个夹具，安装在所述第一夹板和所述第二夹板的边缘，用于所述第一夹板和所述第二夹板的固定，本申请可以防止基板边缘区域芯片氧化，提升基板或产品的良率和可靠性。
基本信息
专利标题 ：
刻蚀治具、辅助上料盘及刻蚀治具组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022293468.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-15
授权号 ：
CN213304064U
授权日 ：
2021-05-28
发明人 ：
陈先明吴耀科彭建李敏雄黄本霞王闻师
申请人 ：
珠海越亚半导体股份有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市斗门区珠峰大道北3209号FPC厂房
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
俞梁清
优先权 ：
CN202022293468.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01J37/20
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2021-05-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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