一种用于CVD涂层设备用的冷凝阱
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于CVD涂层设备用的冷凝阱，包括筒体、冷阱门和S型水道板，筒体后端焊接有筒体后封板，筒体后封板上设有三组S型水道板进水管和S型水道板出水管，筒体后封板上焊接有进气管和出气管，冷阱门一端通过铰链机构固定连接在法兰上，冷阱门通过活节螺栓紧固在法兰上，通过设置环形水道和三层S型水道板提供了足够的冷凝面积，利用三层S型水道板中的内腔导流块使冷却水形成S型路径，使装置内部具有较低的温度，利用导流隔板和三层S型水道板的设计使得可凝性蒸汽在冷凝阱内部沿着“S”型路径通过装置，增加了可凝性蒸汽在装置内部的停留时间，促进了冷却效果，解决了现有冷凝阱冷却效率低的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种用于CVD涂层设备用的冷凝阱
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022180510.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
CN213643166U
授权日 ：
2021-07-09
发明人 ：
王彤
申请人 ：
常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区凤翔路16号
代理机构 ：
上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
雍常明
优先权 ：
CN202022180510.5
主分类号 ：
B01D8/00
IPC分类号 ：
B01D8/00 C23C16/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D8/00
冷凝阱；冷隔板
法律状态
2021-07-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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