一种混酸系统用酸料过滤装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种混酸系统用酸料过滤装置，涉及半导体生产加工用相关设备技术领域。本实用新型包括过滤组件，过滤组件包括过滤箱、第一纳米膜、第二纳米膜、第三纳米膜和第四纳米膜，第一纳米膜、第二纳米膜、第三纳米膜和第四纳米膜依次等距连接于过滤箱内中部设置的安装组件内部，安装组件包括安装框架、滑块和滑轨，安装框架内两侧中部滑轨内侧中部滑动的滑块前端与第一纳米膜、第二纳米膜、第三纳米膜和第四纳米膜连接，第一纳米膜、第二纳米膜、第三纳米膜和第四纳米膜上中部扣块与密封板底中部开设的扣槽之间扣接连接。本实用新型通过设置安装组件和过滤组件结构，具有提升半导体蚀刻效率，便于过滤装置拆装更换的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种混酸系统用酸料过滤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022199883.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
CN213725802U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
苏富琨余光明戴荣昌
申请人 ：
福建雅鑫电子材料有限公司
申请人地址 ：
福建省三明市清流经济开发区氟新材料产业园
代理机构 ：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
许娆
优先权 ：
CN202022199883.7
主分类号 ：
B01D61/00
IPC分类号 ：
B01D61/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D61/00
利用半透膜分离的方法，例如渗析，渗透，超滤；其专用设备，辅助设备或辅助操作
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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