本实用新型属于微机电系统领域，具体公开了一种利用光诱导介电泳分离多种微粒的装置，包括待分离试剂入口，载流体入口，光导层，微流体通道，微粒一出口、微粒二出口和微粒三出口，其中光导层位于微流体通道的上方且长度、宽度与其一致。通过在光导层的不同位置施加光照，相应位置的电导率会发生变化，产生非均匀电场，驱动微流体通道中三种微粒运动。三种微粒的半径和介电常数不同，导致其受到的介电泳力大小不同，基于此，可以分离出不同的微粒，本实用新型的优势在于：所需的微粒样品少，分离效率高；不需要对微粒进行标记，对微粒的损伤小；不需要设计复杂的通道和电极，只要按需对不同位置施加光照即可实现对三种微粒的分离。