本实用新型公开了一种高精度电容式距离测量装置，包括安装外壳，所述安装外壳中部外壁通过螺钉固定有安装片，所述安装外壳内壁一侧中心位置通过螺钉固定有安装筒，安装外壳内壁另一侧设置有固定柱，所述安装筒内底面通过螺钉固定有伺服电机，伺服电机的输出端穿过安装筒并通过联轴器固定有螺纹杆，所述固定柱靠近安装外壳一端还开设有螺纹孔，且螺纹杆通过螺纹连接在螺纹孔内，所述安装筒靠近固定柱一端前后侧均焊接有限位板。本实用新型结构精简，运行稳定，电容式距离传感器隐藏设置，避免了灰尘等泥土滞留造成发射部位阻挡现象的发生，很好的确保了电容距离传感器测量精度和延长电容距离传感器的使用寿命。