本实用新型公开了一种电热汽化机构及高温蒸汽发生装置，其包括有电热汽化机构、供水机构、加压装置、控制器、蒸汽输出管路、第一温度传感器和第二温度传感器，电热汽化机构包括有主加热器以及经过多次弯折后绕制而成的蒸发管，供水机构、加压装置、蒸发管和蒸汽输出管路依次连通，加压装置、主加热器、第一温度传感器和第二温度传感器分别电性连接于控制器，第一温度传感器用于采集蒸发管的温度，第二温度传感器用于采集蒸汽输出管路的温度，控制器用于根据第一温度传感器和第二温度传感器反馈的温度值控制主加热器的加热功率。本实用新型能够提高腔室内的温升效率、可提高加热效率、有助于实现多种加热模式以及避免腔室内冷热不均。